Reinraumzubehör
Ausstattung für metallfreie Arbeitsplätze
Unser Reinraumzubehör steht für höchste Qualität, Sicherheit und Anpassungsfähigkeit. Ob modulare Quick Dump Rinse (QDR)-Becken zur schonenden Wafer-Nachbehandlung, vollständig metallfreie Möbel für sensible Anwendungen oder thermische Aufschlusseinheiten für die Ultraspurenanalytik – alle Komponenten sind durchdacht konstruiert, langlebig und leicht zu reinigen. Ergänzt wird unser Angebot durch vielseitiges Zubehör wie Trichterbecken, Energieleisten und Deckenluftauslass sowie individuelle Sonderlösungen, die exakt auf Ihre Anforderungen abgestimmt sind.
Nach der chemischen Behandlung von Wafer für Reinigungs-, Ätz- oder Abbeizanwendungen ist es wichtig, sämtliche Komponenten richtig abzuspülen, um chemische Rückstände zu vermeiden. Einmal aus dem chemischen Bad entfernt, ist die Waferoberfläche immer noch mit Chemikalien bedeckt, welche zu einem kontinuierlichen chemischen Prozess außerhalb des Bades führen. Dieser chemische Prozess kann zu Überätzungen oder Ablösungen führen, die einen Produktionsausfall zu Folge haben.
Um diese Probleme zu vermeiden, ist es notwendig, die Wafer mit Dl-Wasser unter Verwendung eines Spülvorgangs mit anschließendem schnellen Ablass oder einer Abschreckung richtig zu spülen.
Das Quick-Dump-Rinse-Becken (QDR-Becken) ist modular aufgebaut. Daher ist es möglich, das QDR-Becken in zwei separate Komponenten zu zerlegen und aus der Anlage zu entnehmen. Zusätzlichen Komfort bietet das Sprüh- und Ablasssystem, welches konzipiert ist, dass es gemeinsam mit dem Prozessbecken entnommen, gereinigt oder auch ausgewechselt werden kann.
Quick-Dump-Rinse-Becken (QDR-Becken)
Metallfreie Möbel
MK Hochschrank
MK Schiebetürenschrank
MK Schubladenschrank
MK Spüle
MK Unterschrank mit Drehtüren und Schubladen
Thermische Aufschlusseinheit
- Speziell für den Einsatz in der Ultraspurenanalytik zum thermischen Aufschließen von Proben entwickelt
- Vollständig mit PTFE Material gekapselt, glatte PFA-beschichtete Heizfläche“
- Vollständig gekapselte Steuerungsleitung
- 20 Jahre erprobte Beschichtung für härteste Umgebungs- und Anwendungsbedingungen
- Geringes Gewicht
- Einzigartige gleichmäßige Wärmeverteilung
- Kurze Aufheizzeit bei geringem Energieverbrauch
- Sicherer Langzeitbetrieb durch Zeit- und Temperaturführung von zwei unabhängig voneinander arbeitenden Sicherheitseinrichtungen
TAE MK 280
Weiteres Zubehör
MK Trichterbecken
MK Energieleiste
MK Deckenauslass mit Filter
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Höchste Präzision für sensible Messverfahren
Die Ultraspurenanalyse gehört zu den anspruchsvollsten Methoden in der modernen Forschung und Industrie. Schon geringste Verunreinigungen können Messergebnisse verfälschen und die Qualität der Analysen beeinträchtigen. Deshalb sind Anlagen und Reinräume für Ultraspurenanalyse unverzichtbar. Sie schaffen eine Umgebung, die frei von metallischen Partikeln, chemischen Rückständen und sonstigen möglichen Kontaminationen ist. Besonders in der Halbleiterindustrie und Geochemie ist der Einsatz solcher Systeme entscheidend, um exakte und reproduzierbare Ergebnisse sicherzustellen.
Maßgeschneiderte Reinraumanlagen von MK Versuchsanlagen
MK Versuchsanlagen entwickelt individuelle Anlagen für zertifizierte Reinräume nach DIN EN ISO 14644, die speziell auf die Anforderungen der Ultraspurenanalytik abgestimmt sind. Im Fokus stehen maßgeschneiderte metallfreie Anlagen, die Partikel- und Kontaminationsfreiheit gewährleisten. Von der ersten Planung bis zur Inbetriebnahme begleitet das Unternehmen seine Kunden als kompetenter Partner. Ob kompakte Reinraumsysteme für Forschungseinrichtungen oder komplexe Sonderanlagen für industrielle Anwendungen – jedes Projekt wird passgenau umgesetzt. Dank modularer Konzepte lassen sich die Systeme jederzeit erweitern oder an veränderte Anforderungen anpassen.
Reinraumtechnik für höchste Reinheitsklassen
Damit die Ultraspurenanalyse zuverlässig funktioniert, sind Reinräume nach höchsten Standards notwendig. MK Versuchsanlagen realisiert Reinräume für Ultraspurenanalyse, die bestimmte Reinraumklassen erfüllen. Durch den Einsatz reinraumkompatibler Anlagen und metallfreier Reinraumtechnik wird verhindert, dass selbst kleinste Spuren von Metallen oder Partikeln in die zu analysierenden Proben gelangen. Die Bauweise ermöglicht eine leichte Reinigung, eine kontrollierte Luftführung durch Laminarströmung sowie die Integration modernster Messtechnik. Unternehmen profitieren so von einer Arbeitsumgebung, die konsequent auf Präzision und Reinheit ausgerichtet ist.
Flexible Ausstattung für unterschiedliche Anwendungen
Ein entscheidender Vorteil der Anlagen liegt in ihrer Modularität. Je nach Anwendungsgebiet können spezielle Arbeitsstationen integriert werden – beispielsweise metallfreie Nasswerkbänke oder vertikale Laminarflow-Arbeitsstationen. Dadurch lassen sich die Reinräume exakt auf den jeweiligen Forschungs- oder Produktionsprozess zuschneiden. Auch mobile Reinräume oder Laborcontainer können für kurzfristige oder temporäre Projekte in der Ultraspurenanalytik eingesetzt werden. So entsteht ein Höchstmaß an Flexibilität, ohne Abstriche bei der Qualität machen zu müssen.
Nachhaltigkeit und Zukunftssicherheit
Die Anlagen und Reinräume für Ultraspurenanalyse von MK Versuchsanlagen überzeugen nicht nur durch Präzision, sondern auch durch Langlebigkeit und Nachhaltigkeit. Dank robuster Bauweise und energieeffizienter Technik sind sie für den dauerhaften Einsatz konzipiert. Unternehmen profitieren von einem niedrigen Wartungsaufwand, einer langen Lebensdauer und einer Investition, die auch künftigen Anforderungen durch energieeffiziente Lösungen gerecht wird. Damit sichern sie sich langfristig eine verlässliche Infrastruktur, die höchste Standards in Forschung und Produktion erfüllt.
Präzision auf höchstem Niveau
Anlagen und Reinräume für Ultraspurenanalyse sind die Grundlage für exakte Messergebnisse und sichere Prozesse in sensiblen Bereichen. MK Versuchsanlagen bietet individuell geplante Systeme, die ISO-zertifiziert, modular erweiterbar und konsequent metallfrei sind. Mit modernster Reinraumtechnik und maßgeschneiderten Lösungen schaffen Unternehmen die Basis für zuverlässige Analysen und nachhaltigen Erfolg in Forschung und Industrie.