Reinraumzubehör
Ausstattung für metallfreie Arbeitsplätze
Unser Reinraumzubehör steht für höchste Qualität, Sicherheit und Anpassungsfähigkeit. Ob modulare Quick Dump Rinse (QDR)-Becken zur schonenden Wafer-Nachbehandlung, vollständig metallfreie Möbel für sensible Anwendungen oder thermische Aufschlusseinheiten für die Ultraspurenanalytik – alle Komponenten sind durchdacht konstruiert, langlebig und leicht zu reinigen. Ergänzt wird unser Angebot durch vielseitiges Zubehör wie Trichterbecken, Energieleisten und Deckenluftauslass sowie individuelle Sonderlösungen, die exakt auf Ihre Anforderungen abgestimmt sind.
Nach der chemischen Behandlung von Wafer für Reinigungs-, Ätz- oder Abbeizanwendungen ist es wichtig, sämtliche Komponenten richtig abzuspülen, um chemische Rückstände zu vermeiden. Einmal aus dem chemischen Bad entfernt, ist die Waferoberfläche immer noch mit Chemikalien bedeckt, welche zu einem kontinuierlichen chemischen Prozess außerhalb des Bades führen. Dieser chemische Prozess kann zu Überätzungen oder Ablösungen führen, die einen Produktionsausfall zu Folge haben.
Um diese Probleme zu vermeiden, ist es notwendig, die Wafer mit Dl-Wasser unter Verwendung eines Spülvorgangs mit anschließendem schnellen Ablass oder einer Abschreckung richtig zu spülen.
Das Quick-Dump-Rinse-Becken (QDR-Becken) ist modular aufgebaut. Daher ist es möglich, das QDR-Becken in zwei separate Komponenten zu zerlegen und aus der Anlage zu entnehmen. Zusätzlichen Komfort bietet das Sprüh- und Ablasssystem, welches konzipiert ist, dass es gemeinsam mit dem Prozessbecken entnommen, gereinigt oder auch ausgewechselt werden kann.
Quick-Dump-Rinse-Becken (QDR-Becken)
Metallfreie Möbel
MK Hochschrank
MK Schiebetürenschrank
MK Schubladenschrank
MK Spüle
MK Unterschrank mit Drehtüren und Schubladen
Thermische Aufschlusseinheit
- Speziell für den Einsatz in der Ultraspurenanalytik zum thermischen Aufschließen von Proben entwickelt
- Vollständig mit PTFE Material gekapselt, glatte PFA-beschichtete Heizfläche“
- Vollständig gekapselte Steuerungsleitung
- 20 Jahre erprobte Beschichtung für härteste Umgebungs- und Anwendungsbedingungen
- Geringes Gewicht
- Einzigartige gleichmäßige Wärmeverteilung
- Kurze Aufheizzeit bei geringem Energieverbrauch
- Sicherer Langzeitbetrieb durch Zeit- und Temperaturführung von zwei unabhängig voneinander arbeitenden Sicherheitseinrichtungen
TAE MK 280
Weiteres Zubehör
MK Trichterbecken
MK Energieleiste
MK Deckenauslass mit Filter
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