Nasswerkbank
Anlagendetails
- Frontschieber mit individueller Einstellung
- Lichtgitter zur Aktivitätsüberwachung
- Integrierte Beleuchtung
- Überwachung von Filterdruck und Differenzdruck
- Zuluftfilter nach ISO Klasse
- Temperaturüberwachung
- Speicherprogrammierbare Steuerung (SPS) zur Überwachung und Regelung von Funktion, Lüftung und Equipment
- Anschlüsse für integriertes Equipment in der Halbleiterproduktion
- Bedienteile für Medien (Hand, Fuß, Display)
- Unterflurspülung
- Abwurf
- Medienversorgung (individuelle Prüfung)
- Fernwartung
- Ionisator
- Quick-Dump-Rinse Becken
- Zuluftventilatoren, Abluftventilatoren
- Ultraschallbecken
- Abluftwäscher und Abluftberieselung
- Unterschrank mit Drehtüren oder Schubladen
- Umluftbetrieb möglich mit geeignetem Aktivkohlefilter
Laminarströmung
DIN EN 14175
Modulare Bauweise
Energiebedarf senken
MK Versuchsanlagen Nasswerkbank: Innovatives Design für Präzisionsarbeit
In der Halbleiterindustrie sind metallfreie Anlagen Bestandteil vieler Prozess- und Produktionsanlagen. Mit den Anlagen von MK Versuchsanlagen fertigen wir individuell auf den Prozess konstruierte metallfreie Anlagen, die kundenbasiert entwickelt und konstruiert werden. Durch Laminarströmung im gesamten Arbeitsbereich wird hier zusätzlich das Arbeiten unter saubersten Bedingungen (z. B. in Reinraumklasse 3 (DIN EN ISO 14644) oder besser) ermöglicht. Durch die Steuerung von Zu- und Abluft liegt das Augenmerk hier auf gleichzeitigem Produkt- und Nutzerschutz. Typische Einbauten wie Reinigungsbecken, Ultraschallbecken oder Ätzbecken werden dabei nach Kundenmaßen in geeigneten Materialien gefertigt und flächenbündig, ergonomisch in die Anlagen eingebaut. Prozessequipment, wie zum Beispiel ein Spin Coater, kann dabei ebenfalls in die Werkbänke integriert werden.
Unsere metallfreie Nasswerkbank zeichnet sich durch Ihre modulare Bauweise aus und kann somit individuell auf Ihre Prozesse ausgelegt werden. Der Schutz von Produkt UND Nutzer steht für uns im Vordergrund. Produktschutz durch saubere, partikelfreie Arbeitsbereiche mit Reinraumklasse 3* oder besser und Personenschutz durch frontschiebergesteuerte Volumenströme** gewährleisten die Einhaltung dieser Ziele. Mit der Verwendung verschiedener inerter Kunststoffe erreichen wir ausgezeichnete Korrosionsbeständigkeit.
Steht gebäudeseitig nicht genügend Zuluftkapazität zur Verfügung, bieten wir Ihnen hier eine Variante mit integrierter Raumluftansaugung an.
Zur Senkung der Betriebskosten bieten wir ebenso eine Variante an, die über ein intelligentes Steuerungssystem den Energiebedarf senkt.
* Nach DIN EN ISO 14644
** Nach DIN EN 14175
| Technische Daten | ||
| Material | PP, PET, POM, PFA, PVDF | |
| Betriebsspannung | 400 V, 5-polig | |
| Luftmengenbedarf | Zuluft mind. 500 m³/h, Abluft mind. 400 m³/h (bei 1200 mm Breite) | |
| Strömungsgeschwindigkeit im Arbeitsbereich | ca. 0,15 m/s im Normalbetrieb | |
| Endständige Zuluft-Filter | Hochleistungsschwebstofffilter, Filterklasse H13 bis U16 (je nach Bedarf) mit Vorfilter F9 | |
| Reinraumklasse nach DIN EN ISO 14644-1 | Klasse 3 oder besser (0,2 μm, 0,3 μm, 0,5 μm) „at rest“ in Ruhe, ohne Aktivität | |
| Sicherheitsvorgaben DIN EN ISO 14175 | Einhaltung der in der DIN EN ISO 14175 definierten Sicherheitsvorgaben des Rückhalte- und Luftaustauschvermögens für Personen- und Produktschutz | |
| Beleuchtungsstärke | > 750 Lux | |
| Schnittstellen | Ethernet oder andere gängige Feldbussysteme und serielle Schnittstellen | |
| Maße | 1200 x 975 x 2600 mm (B x T x H), Breiten 900 mm, 1500 mm und 1800 mm ebenfalls möglich | |
| Gewicht (ohne Zubehör) | 260 kg bei Anlagenbreite 1200 mm (320 kg, 380 kg bei breiteren Anlagen) | |
| Maße Arbeitskammer | Breite x 635 x 880 mm (B x T x H), Breite variiert mit Gesamtbreite | |
| Arbeitshöhe | 700 mm, 900 mm | |
| Öffnungshöhe Frontschieber | Individuell anpassbar über SPS | |
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